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LH1000 Dual-frequency Interferometer.pdf

Nonlinear error analysis and experimental measurement of Birefringence-Zeeman dual-frequency laser interferometer.pdf

專為光刻機(jī)配套開發(fā)的高精度測量系統(tǒng)；

通過國家重大專項“極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝”項目驗收。

采用直接輸出線偏振光的雙頻激光器；

非線性高精密測量系統(tǒng)，測量更精準(zhǔn)；

可提供1~20MHz頻差內(nèi)任意頻差產(chǎn)品，滿足各種測量速度需要。

光源和測量信號接收單元分體式設(shè)計，方便搭建XY位移臺等多軸測量系統(tǒng)；

精巧的測量信號光纖接收頭，即使空間狹小也能方便安裝；

標(biāo)準(zhǔn)光刻機(jī)干涉儀安裝尺寸和數(shù)據(jù)接口，可直接替換現(xiàn)有產(chǎn)品。

（欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點和差異，請閱覽本網(wǎng)站解決方案欄目中的：雙頻激光干涉儀）

注：可根據(jù)需求定制更小頻差范圍。

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

LH1000雙頻激光干涉儀應(yīng)用于尼康光刻機(jī)后，其工作臺精度由原來的23nm提高到6nm！

鐳測激光精密測量產(chǎn)品手冊-2024.3.pdf