滿足計量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求；

    以光刻機用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎，

    在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時，

    將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里，

    一體化設計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗；

    典型頻差7±0.5 MHz，測速高達2m/s。

 系統(tǒng)組成：
     LH2000激光測頭及附件
     環(huán)境補償單元
     LaserLC測量軟件
     線性位移測量鏡組（選配：角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等）
     光學調整附件
     三腳架及其他測量附件
 

（欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點和差異，請閱覽本網(wǎng)站解決方案欄目中的：雙頻激光干涉儀）

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關內容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

LH2000用于三坐標機校準

LH2000用于數(shù)控機床校準

鐳測激光精密測量產(chǎn)品手冊-2024.3.pdf