概述

  隨著智能制造技術(shù)的發(fā)展，檢測已經(jīng)成為生產(chǎn)過程中越來越重要的一部分，位移檢測是檢測手段之一。一般來說，設(shè)備的檢測精度應(yīng)達到加工精度的3倍以上。如果要以3微米的精度加工，其檢測精度至少應(yīng)小于1微米，因此位移測量系統(tǒng)已經(jīng)成為智能制造設(shè)備的關(guān)鍵部件之一。

 目前常用的位移測量系統(tǒng)有光柵、容柵、磁柵、激光干涉等，其中激光干涉精度較高，是微納位移測量的較佳選擇。根據(jù)結(jié)構(gòu)的不同，激光干涉儀可分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀，根據(jù)結(jié)構(gòu)的不同可分為傳統(tǒng)的空間光傳輸和光纖激光干涉儀。

雙頻激光干涉儀干擾的原理和特點。

采用雙頻激光干預(yù)技術(shù)和光纖傳輸技術(shù)，根據(jù)激光多普勒原理，可以測量各種物理量，如位移，振動，速度，加速，變形等。

它結(jié)合了雙頻激光干涉和光纖激光兩大特點:

采用交流放大器，更穩(wěn)定，更耐環(huán)境干擾；

高倍電子細分可以達到納米分辨率；

采用光纖傳輸，安裝方便，更容易實現(xiàn)多軸同步測量；

測量較大速度為5m/s/s；

輸出包括網(wǎng)口，USB接口，ABZ接口等。

以上就是小編為大家介紹的雙頻激光干涉儀全部內(nèi)容，希望對大家能有所幫助。