激光干涉儀有哪些類型？

小編將與您分享激光干涉儀的類型，來看看吧！

1.單頻激光干涉儀

  由激光射出的光束經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后，分光鏡分為固定反射鏡和活動反射鏡兩個通道，以形成分光鏡的干涉條紋。在可動反射鏡運(yùn)動時，干涉條紋的強(qiáng)度變化是通過接收端的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換成電脈沖信號，經(jīng)過整形、放大，輸入可動反射鏡計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)計(jì)算出總脈沖數(shù)(N為總脈沖數(shù))，計(jì)算出可移動鏡的位移L。在采用單頻激光干涉儀時，大氣環(huán)境處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流將導(dǎo)致直流電壓發(fā)生變化，影響測量結(jié)果。

2.雙頻激光干涉儀

 雙頻激光干涉儀是一種基于單頻激光干涉的外差干涉測量系統(tǒng)。

 加上約0.03特斯拉軸向磁場，氦霓虹燈激光。受塞曼分裂效應(yīng)和頻率拖動效應(yīng)的影響，激光分別產(chǎn)生不同頻率的極化光。用1/4波片將其轉(zhuǎn)換成兩條互相垂直的偏振光，再由分光鏡分為兩條。之后將整個偏振片變?yōu)閰⒖脊馐l率f1-f2。用偏振分光鏡，另一條線分成兩條通道：一條變成只有f1的光束，另一條只有f2。在可動反射鏡移動時，含f2的光束經(jīng)過可動反射鏡的反射變成包含f2δf的光束，這是多普勒效應(yīng)在可動反射鏡運(yùn)動時產(chǎn)生的額外頻率，正的負(fù)數(shù)代表移動方向(奧地利人C.J.多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒效應(yīng)由奧地利人C.J.多普勒效應(yīng)提出，它是由奧地利人C.J.多普勒提出的。

 這種光束僅從固定鏡上反射，經(jīng)過偏振片2后合成f1-(f2±δf)的測量光束。通過各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器，光束和上述參考光束減少進(jìn)入減法器，而輸出僅±δf。利用計(jì)算機(jī)對可逆計(jì)數(shù)器進(jìn)行等效變換(乘以1/2激光波長)，可獲得可動反射鏡的位移。雙頻激光干涉儀一般采用頻率變化來測量位移，這種位移信息在f1和f2的頻差上表現(xiàn)出來，對光強(qiáng)變化引起的DC電平變化不敏感，因此具有較強(qiáng)的抗干擾能力。常用于校驗(yàn)長機(jī)、三坐標(biāo)測量機(jī)、光刻機(jī)、加工中心等校驗(yàn)機(jī)的坐標(biāo)精度，也可作長機(jī)、高精度三坐標(biāo)測量機(jī)等測量系統(tǒng)。并可通過附件測量高精度、直線度、平面度和小角度。