進(jìn)口激光干涉儀原理及用途。

利用光波作為載體的進(jìn)口激光干涉儀具有精度高、測量速度快、測量范圍大、分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。進(jìn)口激光干涉儀在數(shù)控機(jī)床、鉆床、坐標(biāo)測量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)、科研開發(fā)及高端設(shè)備制造中得到廣泛應(yīng)用。

測量原理。

發(fā)射單頻光束。線形干涉鏡射入后，被分成兩束射入反射鏡，再反射回分光鏡，Z返回激光干涉。在相長干涉和相消干涉的兩極間保持一定的光差，進(jìn)口激光干涉儀能夠得到穩(wěn)定的信號。這一變化可以用來測量兩個(gè)光程之間的差值，并計(jì)算光差。

如何工作？

一種混合氣體在陽極和陰極的高壓聯(lián)接下產(chǎn)生一種產(chǎn)生激光光束的混合氣體，通過增強(qiáng)激光強(qiáng)度向輸出激光傳輸部分光。其中，激光穩(wěn)頻的精確度通過加熱器控制激光管長0.05ppm。這時(shí)，輸出穩(wěn)定后，可進(jìn)行激光干涉測量。現(xiàn)在，激光干涉儀都采用的是氦激光管，輸出波長為633納米。

激光器的頻率、功率、穩(wěn)定性、可靠性、光束質(zhì)量、壽命等參數(shù)直接影響激光器的性能。頻率是激光干涉Z的基本參量，頻率(波長)的精度和穩(wěn)定性是進(jìn)口激光干涉儀測量精度的保證。

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