對于激光干涉儀,您有什么不同的看法嗎?
激光干涉儀測量速度快、精度高,是校準數(shù)控機床、坐標測量機等各種定位設(shè)備精度和線性指標的通用標準儀器,掌握一些激光干涉儀的使用技巧,將使測量工作事半功倍。
運作方式:
一種激光干涉系統(tǒng)發(fā)射單頻光束,在一面干涉鏡射入后,被分成兩束射入反射鏡,再反射回分光鏡,Z回到激光干涉。相消性干涉與相消性干涉可以在不同光程差的情況下穩(wěn)定地進行測量。用來測量兩個光程差值之間的差值而產(chǎn)生的變數(shù)。
一種由混合氣體產(chǎn)生的激光光束,在陽極和陰極的一個高壓連接下產(chǎn)生,通過激光強度放大,將光傳輸?shù)捷敵黾す馍?。通過控制加熱管長度,激光穩(wěn)頻精度保持±0.05ppm,此時輸出穩(wěn)定,激光干涉測量即可實現(xiàn)。目前,大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用波長為633納米的氦氖激光器。
激光頻率、功率、穩(wěn)定性、可靠性、光束質(zhì)量、壽命等參數(shù)與激光干涉儀的最終性能密切相關(guān)。光譜是激光干涉儀的基本參數(shù)之一,其頻率(波長)的精確度和穩(wěn)定性是其測量精度的保證。
適用:
1、位置精度檢測和自動補償可實現(xiàn)數(shù)控機床的定位、重復(fù)定位、位移等精度檢測。
2、激光干涉儀能夠同時測量龍門大型移動數(shù)控機床,利用雙伺服驅(qū)動某軸向運動定位精度,。
3、數(shù)控機床動態(tài)性能測試軟件、機床振動測試與分析(FFT)、滾珠絲杠動態(tài)特性分析、伺服驅(qū)動系統(tǒng)響應(yīng)特性分析、導(dǎo)軌運動特性分析等。
4、適用于直線性、垂直性、縱斜、平行性、平行性和平行性。
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